軸承是機(jī)械工業(yè)中常用的一種滑動(dòng)機(jī)件,材質(zhì)上又有金屬、非金屬、復(fù)合材料之別。石墨軸承則是隨著機(jī)械設(shè)備的性能要求,在金屬軸承的基礎(chǔ)上開發(fā)并發(fā)展起來(lái)的碳質(zhì)軸承,以石墨材料為主要基材。
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石墨舟的主要特點(diǎn):
1.PECVD拖板可以傾斜15度或者內(nèi)部旋轉(zhuǎn)180度;
2.凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
3.確保工作區(qū)域的清潔度達(dá)到工藝要求的100級(jí)。
4.石墨舟能準(zhǔn)確定位裝載和裝車;
5.采用不銹鋼制造,整機(jī)結(jié)構(gòu)牢固可靠;
6.采用三臺(tái)GK系列高效空氣過(guò)濾器;
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石墨舟的工作原理:
空氣經(jīng)高效過(guò)濾后,阻尼層均衡壓力,使?jié)崈魵饬鞔怪眴蜗蛩腿刖A裝載工作區(qū),保證工作區(qū)的潔凈度滿足工藝要求。操作員在干凈的環(huán)境中將硅晶片裝載到石墨舟上。
耐磨抗氧化涂層是由高性能碳化硅用cvd的方式附著在石墨表面進(jìn)行復(fù)合得到的高性能耐磨抗氧化材料。廣泛用于因沖蝕、氣蝕和高溫所需要的高性能材料,也用于在有耐磨、防腐要求的機(jī)件表面制備耐磨防腐涂層。
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