石墨制品在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用有哪些？

高純度石墨制品是一種廣泛應(yīng)用到各行各業(yè)的產(chǎn)品，近年來，在半導(dǎo)體制造中也被廣泛運(yùn)用。半導(dǎo)體制造中的許多工藝是在非常高的溫度和極具腐蝕性的環(huán)境中進(jìn)行的，高純度石墨具有耐高溫、良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性、化學(xué)性能穩(wěn)定等特性，成為半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的材料。其應(yīng)用主要涉及到以下方面：

1. 直拉單晶爐內(nèi)使用的部件

直拉單晶爐內(nèi)使用的石墨部件是一類易耗件，它由各種高純石墨加工而成。其所有工藝都在高溫、侵蝕性環(huán)境下運(yùn)行，晶體生長爐的熱區(qū)通常配備耐熱和耐腐蝕的高純度石墨部件，如加熱器、坩堝、石墨蓋板，石墨保溫筒、導(dǎo)流筒等。其中的石墨坩堝及其他石墨部件采用了高純細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)石墨；石墨加熱器采用了高純各向同性石墨；石墨保溫筒和石墨蓋板采用高純中顆粒結(jié)構(gòu)的石墨。

2. 晶體管封裝

石墨材料在半導(dǎo)體制造中還可以用來制造晶體管的封裝。晶體管封裝是將晶體管芯片密封在具有高度傳導(dǎo)性的材料中，以保護(hù)晶體管不受外部環(huán)境的影響。在制造封裝材料時(shí)，需要使用到石墨材料，其具有優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度和導(dǎo)熱性能，能夠有效地保護(hù)晶體管芯片。

3.半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

除了用于制造半導(dǎo)體零部件和封裝外，石墨材料也被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的制造。例如，石墨制的爐管、保護(hù)管、短棒等在半導(dǎo)體生產(chǎn)加工過程中起到至關(guān)重要的作用，能夠承受高溫、高壓環(huán)境，同時(shí)具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和熱傳導(dǎo)性能。

上述所舉例的三類在半導(dǎo)體業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的石墨制品，可見石墨制品加工在半導(dǎo)體制造中具有重要的應(yīng)用價(jià)值。其優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度、導(dǎo)熱性能以及化學(xué)穩(wěn)定性，對于確保半導(dǎo)體器件的精確性、可靠性和長期穩(wěn)定性具有不可替代的作用。